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    三维表面测量仪光学轮廓仪

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    • 产品名称:三维表面测量仪光学轮廓仪
    • 产品型号:Super Focus3000
    • 产品展商:美国3V
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    简单介绍

    三维表面测量仪光学轮廓仪Super Focus3000是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站检测仪器?晒惴河τ糜诎氲继逯圃旒胺庾肮ひ占觳狻3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站及航空航天、国防军工、科研院所等领域中?刹飧骼啻映饣酱植凇⒌头瓷渎实礁叻瓷渎2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站物体表面,从纳米到微米级别工件2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

    产品描述

    一、产品简介

    三维表面测量仪光学轮廓仪Super Focus3000是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描?椤3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站光学检测仪器。

    可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站及航空航天、国防军工、科研院所等领域中?刹飧骼啻映饣酱植凇⒌头瓷渎实礁叻瓷渎2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站物体表面,从纳米到微米级别工件2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

     

    二、产品功能

    1) 一体化操作2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。

    2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。

    3) 测量中提供拼接测量功能。

    4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大?2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站提取剖面等功能。

     

    5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依据国际标准2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站ISO42872021欧洲杯有奖竞猜|官方网站线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站波谷深度等;频率分析包括纹理方向2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站频谱分析等功能;功能分析包括SK参数2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站体积参数等功能。

    6) 分析中同时提供一键分析2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站自动测量2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站批量测量并直接获取分析数据2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站功能。

    三、应用领域

    对各种产品、部件2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站材料表面2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站分析。


    四、性能特色

    1、 高精度、高重复性

    1) 采用光学干涉技术、精密Z向扫描?2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站优异2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;

    2) 独特2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站生产车间环境中能稳定使用,获得极高2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站测量重复性;

    2、 一体化操作2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站测量分析软件

    1) 测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站功能;

    2) 可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;

    3) 结合自定义分析模板2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站自动化测量功能,可自动完成多区域2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站测量与分析过程;

    4) 几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能?槠肴

    5) 一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能;

    6) 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站多达300余种2D、3D参数。

    3、 精密操纵手柄

    集成X、Y、Z三个方向位移调整功能2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

    4、 双通道气浮隔振系统

    既可以接入客户现场2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站双通道气浮隔振系统,在无外接气源2021欧洲杯有奖竞猜|官方网站条件下也可稳定工作。

    五、技术指标

    1、技术规格:

    光源

    白光LED

     

    标配影像系统

    1024×10242048×2048可选)

     

    标配干涉物镜

    10×(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

     

    标配光学ZOOM

    1×,(0.5×、0.75×可选)

     

    标配视场

    0.49*0.49

     

    zui大视场

    6*6

     

    物镜塔台

    3孔手动

     

    XY位移平台

    尺寸

    320×200

    移动范围

    140×110

    负载

    10kg

    控制方式

    电动

    水平调整

    ±5°手动

    Z

    聚焦

    行程

    100

    控制方式

    电动

    Z向扫描范围

    10

    Z向分辨率

    0.1nm

    可测样品反射率

    0.5%~100%

    粗糙度RMS重复性

    0.005nm

    台阶测量

    准确度

    重复性

    .75%

    0.1% 1σ

     

    注:粗糙度性能参数依据ISO 25178国际标准在实验室环境下测量Ra为0.2nm硅晶片Ra参数获得;

    台阶高性能参数依据ISO 25178国际标准在实验室环境下测量4.7?m台阶高标准块获得。

     

    2.仪器尺寸(长××高):主机:900×700×604㎜;

    3.仪器主机重量:小于90Kg;

    4.使用环境:无强磁场,无腐蚀气体

    工作温度:15℃~30℃,温度梯度< 1℃/15分钟

    相对湿度:5%-95%RH,无凝露

    环境振动:VC-C或更优

    隔振气源:0.6Mpa稳压清洁气源,除油、除水,气管直径6㎜

     

    六、产品配置清单

    标准配置:

    1) 白光干涉测量仪主机
    2)
    干涉物镜:10X

    3) 影像系统:1024*1024

    4) 光学Zoom1X

    5) XY位移载物台:自动位移台;

    6) 品牌计算机;

    7) 系统校准模组;

    8) 操纵手柄;

    9) 表面轮廓仪软件;

    10) 电气控制柜;

    11) 仪器配件箱;

    12) 便携加压充气装置一套;

    13) 产品使用说明书;

    14) 产品合格证、保修卡;

     

    可选配置:

    1) 干涉物镜:2.5×、5×、20×、50×、100×;

    2) 影像系统:2048×2048

    3) 光学zoom0.75X0.5X

    4) 自动测量?椋ㄐ胗布С郑

    5) 拼接?椋ㄐ胗布С郑

    6) 真空吸附台一套(半导体晶圆片专用)


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